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零样本多模态模型实现晶圆缺陷分类

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AI 综述

研究人员Tianjian Cao和Jun Tao提出了一种无需训练的六类晶圆地图缺陷分类框架,该事件处于最新报道阶段。 该框架利用冻结的大多模态模型,通过连通区域高亮结合形态、位置及排除感知提示来实现分类,在Mixed-WM38数据集上达到93.8%总体准确率,在WM811K数据集上总体准确率为81.3%。

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10月27日
  1. arXiv · AI
    零样本晶圆缺陷分类:基于规则排序提示的大多模态模型框架

    研究人员提出一种无需训练的六类晶圆地图缺陷分类框架,在 Mixed-WM38 数据集上达到 93.8% 总体准确率。 该框架利用冻结的大多模态模型,结合连通区域高亮与形态、位置及排除感知提示,在 WM811K 数据集上总体准确率为 81.3%。

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