arXiv · AI· Tianjian Cao, Jun Tao·· 1 天前AI 评分23
零样本晶圆缺陷分类：基于规则排序提示的大多模态模型框架
Zero-Shot Multi-Class Wafer Map Classification with Rule-Ordered Prompts for Large Multimodal Models
AI 导读
研究人员提出一种无需训练的六类晶圆地图缺陷分类框架，在 Mixed-WM38 数据集上达到 93.8% 总体准确率。 该框架利用冻结的大多模态模型，结合连通区域高亮与形态、位置及排除感知提示，在 WM811K 数据集上总体准确率为 81.3%。
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